400-875-1717轉(zhuǎn)865
產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 磁控濺射鍍膜儀 > 半導(dǎo)體鍍膜磁控濺射儀 > CY-MSZ273-II-DC-SS桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀
產(chǎn)品型號：CY-MSZ273-II-DC-SS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2026-07-01訪 問 量：82產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | CYKY | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥 |
本設(shè)備為桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實驗室SEM樣品制備。
本套配置采用高真空不銹鋼腔體，腔體設(shè)置帶擋板的石英觀察窗，便于實驗的觀察記錄；腔體設(shè)計真空性能優(yōu)秀，造型小巧，十分適合實驗室使用。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機采用模塊化設(shè)計，操作邏輯簡單，操作界面直觀，利于上手。
桌面型雙靶磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱 | 桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控濺射鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSZ273-II-DC-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ100mm |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ273mm X 280mm |
觀察窗口 | 前置式 | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 上蓋開啟及前開門 | |
真空系統(tǒng) | 前級泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵（選配） | |
真空測量 | 復(fù)合真空計 | |
抽氣接口 | KF16 | |
排氣接口 | KF16 | |
濺射真空 | DC:0.3Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 前級泵抽速1.1L/s | |
電源配置 | 電源數(shù)量 | 直流電源一套 |
輸出功率 | 直流電源500W | |
其他參數(shù) | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
整機尺寸 | 440mm X 600mm X750mm | |
產(chǎn)品咨詢
掃碼加微信