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耐腐蝕柜式勻膠機旋涂儀采用全PP耐腐蝕全柜式設計,滿足工業(yè)級別手動勻膠需求,配備自動點膠功能確保了勻膠和點膠過程中的重復性。耐腐蝕柜式勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝
大功率程控伺服勻膠機旋涂儀是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,它可以實現(xiàn)在價值百萬美元的設備上才可能達到的穩(wěn)定性和均勻性,大功率程控伺服勻膠機能夠處理12寸以內(nèi)的圓晶基片。
此款精密半導體旋涂儀勻膠機共有兩種型號:CY-AC200-SE是標準型號,CY-AC200-PE是**型號;CY-AC200精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設備,這是一種程控伺服型精密勻膠機,可以實現(xiàn)價值百萬美元設備上才能達到的穩(wěn)定性和均勻性。
凈化型4寸勻膠機旋涂儀廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此凈化型勻膠機進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。
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